Универсальный метод исследования вещества путем определения спектра масс частиц, содержащихся в веществе, и их относительные содержания (распространённости); широко применяется в физике, химии, биологии и др. В геологии и геохимии масс-спектральное измерение изотопного состава ряда элементов (Pb, Ar, Rb, Sr, U и др.) лежит в основе методов определения возраста горных пород и рудных образований. С помощью масс-спектрометрии проведены измерения нейтрального и ионного состава верхней атмосферы Земли, Венеры, Марса.
